クライアントの背景
先進ノードのチップ製造を外部委託しているファブレス半導体企業。既存のクリーンルームでは、193nm液浸リソグラフィに必要な厳格な振動および空気清浄度の要件を満たせず、歩留まりの低下を引き起こしていました。
ニーズと課題
・ウェーハ表面でISOクラス5（クラス100）を達成すること。
・フォトリソグラフィベイ全体で厳密な温度管理：22±0.1℃。
・短いダウンタイム：既存ベイの改修に利用できるのはわずか1ヶ月のみ。
ソリューション
・ミニ環境設計：ファンフィルターユニット（FFU）とAMC用ケミカルフィルターでステッパーを隔離。ツールエンベロープ内でISOクラス4を達成しました。
・アクティブ振動アイソレーション：コンクリート慣性ブロック＋空気圧アイソレーターにより、VC-D基準を満たしました。
・高精度HVAC：再熱機能を備えたデュアル冷却水ループ、および可変風量（VAV）ターミナル。温度均一性は±0.08℃で測定されました。
・プレハブパネル：オフサイトで製造されたステンレス鋼パネルで、カムロックジョイント付き。計画的なメンテナンスシャットダウン中に設置され、25日で完了しました。
クライアントからのフィードバック
「ヤニングは、他のクリーンルーム請負業者よりも私たちのツールの要件をよく理解していました。」
— ファシリティマネージャー、半導体クライアント
概要
ヤニングはクリーンルームエンジニアリング分野を専門としています。私たちは、製造効率を直接向上させるクリーンな生産環境の創出に専念しています。当社のモジュラーソリューションは、製造業におけるクリーン生産ゾーンに最適です。
